Täiustatud FIB ja TEM vahvlite analüüsi jaoks

Täiustatud protsessikiibi analüüs

7nm ja alla selle täiustatud protsessikiipide metallikihtide, M0-kihtide, FinFET-struktuuride jne põhjalik analüüs, mida toodavad ja projekteerivad kiibi tootmis- ja projekteerimisettevõtted. Seda analüüsi kasutatakse täiustatud protsessitehnoloogiate ja peamiste protsessisõlmede stabiilsuse kontrollimiseks ning seda saab kasutada ka konkurentide analüüsiks ja pöördprojekteerimiseks.

Kuna integraallülituste tootmisprotsessid paranevad, muutuvad võtmeprotsesside sõlmede arv järjest väiksemaks, näiteks 65 nm ja 40 nm protsessidelt 22 nm, 14 nm, 7 nm, 4 nm ja 3 nm protsessideni. Väiksemad sõlmede numbrid näitavad täiustatud protsesse, mis tähendab paremat kristallihalduse integratsiooni, suuremat töötlemiskiirust ja väiksemat energiatarbimist; samas tähendab see ka kiibi sisestruktuuri keerukuse suurenemist, väiksemaid põhilisi struktuurseid mõõtmeid ja järkjärgulist arengut nanomõõtmete suunas, mida ei saa jälgida üldiste mikroskoopiliste kujutiste tehnikate (nt optiliste mikroskoopide) abil.

Kuna TEM-proovid peavad olema väga õhukesed, et elektronid tungiksid läbi ja moodustaksid difraktsioonimustreid, võimaldab FIB-i tõhus pihustamine proove peent töödelda; seetõttu kasutatakse FIB-d sageli üliõhukeste TEM-proovide ettevalmistamise optimeerimiseks.

Ettevõttel GRGTEST Metrology on patenteeritud tehnoloogiad, sealhulgas meetodid FIB-i fokuseeritud ioonkiire kardinaefekti kõrvaldamiseks, uudne raamstruktuuri meetod kuumustundlike TEM-i üliõhukeste proovide valmistamiseks, kasutades DB FIB-i, FIB-astme{1}}lahjendusmeetod rabedate ja kergesti pragunevate materjalide üliõhukeste TEM-proovide valmistamiseks, eeltöötlusmeetod. kiirgus-tundlikud peen-struktuuriga vahvliproovid ja meetod TEM-proovide valmistamiseks, kasutades FIB-i ümberlõikamist. Need tehnoloogiad võimaldavad saada kõrge eraldusvõimega TEM-pilte ilma elektronkiirte kahjustusteta, saavutada aatomi-taseme eraldusvõimega morfoloogiline iseloomustus ja täiustatud protsessikiipide koostisanalüüs.

Kiibi FA analüüs - 3D TEM meetod

Kuum tags: Täiustatud fib & tem vahvlite analüüsi jaoks, Hiina täiustatud fib & tem vahvlianalüüsi teenusepakkuja